立盈科技股份有限公司

立盈科技股份有限公司，前身為工研院電子工業研究所微波技術組，是從事國防工業關鍵組件系統開發之研究單位。為發展微波產業應用，於2003年6月創立「立盈科技股份有限公司」，公司團隊及員工為主要股東，其他法人股東有日揚科技股份有限公司及創勝投資公司。 本公司主要基於高功率電源供應器 ( 微波源技術、射頻產生器、高功率直流電源 )、材料技術、加上真空系統應用等核心技術基礎，以建構立盈設備整合的能量，發展出微波設備、電漿清洗設備等；更以此設備整合能量為橋樑，致力於材料技術的發展與開發。技術發展是植基於 3H（High Power、High Frequency、High Voltage）為發展目標。