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  • 為何電磁波吸收跟材料的介電常數和導磁係數有關?? - Yahoo!奇摩知識+


    為何電磁波吸收跟材料的介電常數和導磁係數有關??這兩個值怎麼對電磁波的吸收關係這麼大?電磁波吸收和遮蔽的原理差在哪??
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  • 半導體科技新聞 - 低介電常數介電層蝕刻所面臨的挑戰 - Semicondutor News, Science and Technology


    而SiO2及Si3N4會用作此類材料的蝕刻硬質面罩(Hard Mask)。當中最大的挑戰是在如何兼顧快的蝕刻速率及垂直蝕刻圖形時,尚能控制Hard Mask的削面(faceting)情形。 由於純氧蝕刻製程對有機材料都會有等向性的蝕刻傾向,蝕刻的垂直圖形就必須要藉由高分子保護層及 ...
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  • 半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 規則性奈米孔洞超低介電常數二氧化矽薄膜之製備 - Semicondutor Magazine


    卓恩宗、蔡增光、潘扶民 / 國科會國家奈米元件實驗室 楊家銘、趙桂蓉 / 國立清華大學化學研究所 本研究製備出一種具有超低介電常數之奈米孔洞二氧化矽薄膜。利用有機模板分子(molecular template)的自我組裝(self-assembly)排列以形成規則性孔道結構(channel ...
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  • 奈米通訊。第七卷第二期 16.低介電常數材料機械性質之研究


    低介電常數材料機械性質之研究 劉繼文、賴明志、戴寶通 國家奈米元件實驗室 摘要 目前最新的元件結構均採用低介電常數材料(低電容)及銅導線技術(低阻值)來降低多層金屬連線中時間延遲之效應。
    網址:www.ndl.org.tw

  • 奈米通訊。第六卷第四期 6.低介電常數聚亞醯胺膜之化學機械研磨特性研究


    低介電常數聚亞醯胺膜之化學機械研磨特性研究 蔡明蒔、戴寶通 國家奈米元件實驗室 摘要 本研究著重於對聚亞醯膜(polyimide)之化學機械研磨(Chemical-Mechanical Polishing, CMP)製程之可行性評
    網址:www.ndl.org.tw

  • 半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 去耦合電漿蝕刻應用於 多孔性低介電係數材料之損害控制- Semicondutor Magazine


    在高離子能量作用下,導孔上方角落被嚴重地腐蝕(圖四c),且在高的電漿自由基(plasma radical)密度下腐蝕情形更是加重(圖四b)。由於去耦合電漿蝕刻反應器,可各別控制來自晶圓上激發(射頻偏壓)出之電漿物種,因而最佳的low-k蝕刻外形可輕易達成。
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  • Al2O3介電系數 - Yahoo!奇摩知識+


    知識問題| Al2O3介電系數 ... Alumina( Al 2 O 3) 的介電係數與純度有很大關係: 純度99.5%的Alumina,介電係數約 9.8 at 1MHz 純度96%的Alumina,介電係數則因掺雜物的不同 ...
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  • 氣體常數


    氣體常數 J/kg-K ft-lb/lbm- R m-kp/kg-K 1 0.1859 0.019 5.3803 1 0.102 52.764 9.8069 1 本表顯示規則: 顯示位數(小數點不計):5 , 抑止指數出現的位數(正負數的絕對值):4 上方找m-kp/kg-K的列,往下找數字為 1的行(第三行),水平移到ft-lb/lbm- R的下方,該欄內數據即為換算 ...
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  • 理想氣體常數的公式為何? - Yahoo!奇摩知識+


    PV=nRT 以下是理想氣體常數的資料. http://content.edu.tw/senior/chemistry/tp_sc/content1/number1/3/3-8.htm#五、理想氣體方程式 這個的計算很簡單喔.如果有題目不會的話可以問我.
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  • 氣體常數R的問題 - Yahoo!奇摩知識+


    有關於氣體常數R的單位換算R=8314怎麼換算成R=10.73?R=8314(m3‧Pa/kgmol‧k)如何換算成R=10.73(psia‧ft3/lb mol‧。R) ... 知識問題| 氣體常數R的問題 發問者: 匿名 發問時間: 2008-03-12 16:00:09 解決時間: 2008-03-17 08:56:02
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