光學顯微鏡的零件上汙染油如(汽油、機油、潤滑脂、動物油、植物油等)後，若脫脂或擦拭不淨，時間一長，就會出現油性霧，甚至會形成大霧珠。具體的形成因素有以下幾點，軸料含脂量高，或容器汙染後沒有洗淨。清洗金工零件的汽油油汙染或潤滑脂飛濺到光學零件上面起油性霧。裝配輥壓包邊金工零件時，工具或手上油脂汙染光學零件後沒有擦淨脫脂而引起油性霧。由於各種油脂分子擴散到光學零件表面，上而形成油性霧。各種油脂蒸汽的揮發，遇到光學零件表面也會凝聚成油性霧。有時油脂由於離析、變質，而造成油脂揮發、擴散、流油等現象，從而形成油比霧。那怎麼才能去除掉這些顯微鏡內部的油霧呢，教您下面幾個方法：
工具/原料
乙基含氫二氯矽烷，超聲波清洗液，脫脂棉
步驟/方法
用酸洗—蒸洗光學零件的新工藝代替手工清擦玻璃，經過實踐，有了很好的成效。其特點是，光學零件經過酸洗後，可把零件表面的油霧，黴菌生長的營養物清除掉，從而防止和減少黴霧的再次產生。
裝配時用0,25%乙基含氫二氛矽烷的混合液擦拭一二類玻璃的鏡片，既清除油霧(水印、口水圈等)又增強表面強度，效果較好。化學穩定性很好的鏡片，也可在超聲波清洗液中滲入0.25%乙基含氫二氯矽烷或適量49’玻璃防霧劑，使其具有防霧膜層，不再起油霧層。
利用化學藥物來殺死或抑制油霧，常用的防黴劑分接觸性和揮發性等兩類。前者是用醋酸汞或經基咬琳銅或二甲唾二嗦加入防塵脂、潤沿脂、密封臘中，也可滲入有機溶掖內浸泡壓圈等零件。後者是對硝基苯甲醛，它對人無害，有效時間長，工藝簡便。
注意事項
總結，以上只是介紹了在油霧產生以後如何清除，但是在實際使用中，我們更應注重的是防止油霧的產生，因為顯微鏡是十分精密的儀器，一旦起霧，再好的清潔方法都只能還原原本效果的一部分，只有保護好顯微鏡，才能令顯微鏡長久如新。