能源問題正日益成為世界性問題，我國在太陽能光伏產業的核心技術已領先於世界水平，而用於太陽能的主要材料——多晶硅，它的清洗潔淨程度直接影響到太陽能電池的成品率和性能。用超聲波清洗的目的主要是清除多晶硅表面的沾汙，如微粒，有機物，無機金屬離子、氧化層等雜質。多晶硅表面吸附雜質的主要原因是，多晶硅表面原子垂直向上的化學鍵被破壞成為懸空鍵，在多晶硅表面形成自由力場，極易吸附各種雜質。這些雜質和多晶硅之間迅速形成化學吸附，難以去除。在生產多晶硅的生產工藝過程中，其中的一個重要環節，是採用超聲波清洗應用技術。
工具/原料
一臺 VGT-15204FST威固特多晶硅專用超聲波清洗機；
需要清洗的多晶硅
水、清洗劑
方法/步驟
爐前（RCA）清洗：擴散前清洗；
光刻後清洗：除去光刻膠；
氧化前自動清洗：氧化前去掉硅片表面所胡的沾汙物；
拋光後自動清洗：除去切、磨、拋的沾汙；
外延前清洗：除去埋層擴散後的SiO2及表面汙物；
合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁佈線後，表面雜質及光膠殘渣；
離子注入後的清洗：除去光刻膠，SiO2層；
擴散預澱積後清洗：除去預澱積時的BSG和PSG；
CVD後清洗：除去CVD過程中的顆粒；
附件及工具的清洗：除去表面所有的沾汙物；
工藝流程
自動上料→去離子水+超聲波清洗+振動篩拋動→鹼液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動→鹼液+超聲波清洗+拋動→鹼液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→自動下料
注意事項
定期清理被機械潤滑油汙染的清洗液
長時間沒有運作過的清洗機，隔斷時間讓油泵運作一次，至少運轉10分鐘以上
使用過後，做好清潔，做好防潮防熱的工作